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渦輪分子泵的特點很多，但是隨著我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專研，同時也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點的進一步研究，相信在未來是個值得突破的課題。
典型的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng) ，抽氣系統(tǒng)設(shè)置分開的粗抽管道和前級管道，這種系統(tǒng)和常用的擴散泵抽氣系統(tǒng)類似，其粗抽管道和前級管道的基本配置與擴散泵不同。擴散泵的正常運轉(zhuǎn)要求前級泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時前級壓力能低于臨界前級壓力，在渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)中，要選擇具有足夠容量的前級泵，使很靠近前級管道的葉片在很大排氣量時處于分子流或者正好處于過渡流。
大多數(shù)渦輪分子泵的很大穩(wěn)態(tài)進氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級壓力P2約為30Pa。因為排氣量為一常數(shù)，即P1S1=P2S2， （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級泵抽速之S1/S2比應(yīng)該在30到60的范圍內(nèi)，對于很大的對氫壓縮比小于500的泵來說，其級配比應(yīng)該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導(dǎo)規(guī)；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。
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分子泵的葉輪是高速旋轉(zhuǎn)的精密件，在分子泵運轉(zhuǎn)中，不允許固體雜物落到葉輪上,以避免損壞葉輪。也要防止大氣突然沖入正在運轉(zhuǎn)中的分子泵。因為這也有可能損壞葉輪，此外,分子泵運轉(zhuǎn)過程中,要遠離強磁場。結(jié)論改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵轉(zhuǎn)速，檢測信號值發(fā)生變化，儀器在運行時，分子泵轉(zhuǎn)速改變后，只要改變漏率信號的修正系數(shù)，無需再次定標(biāo)，即可保證檢測漏率的準(zhǔn)確性。
若儀器檢測信號時，信號值偏小，可以考慮降低儀器的分子泵轉(zhuǎn)速，來提高檢測信號值，提高儀器的檢測靈敏度。：渦輪分子泵應(yīng)用于角分辨光電子能譜ARPES渦輪分子泵應(yīng)用于角分辨光電子能譜ARPES。角分辨光電子能譜Angleresolvedphotoemissipectroscopy簡稱ARPES利用光電效應(yīng)研究固體的電子結(jié)構(gòu).
光電子在真空飛行的過程中,被一個接受角度很小的能量分析器收集計數(shù).角分辨光電子能譜主要由光源,電子分析器,樣品控制臺以及超高真空的獲得和維護系統(tǒng)組成.分子泵廣泛配套在真空系統(tǒng)已保證超高真空的獲得,同時搭配殘余氣體分析儀PrismaPlus共同使用.
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我國是世界很大的半導(dǎo)體消費市場，但產(chǎn)業(yè)鏈整體價值水平較低，尤其是關(guān)鍵材料與設(shè)備和零部件方面，存在較大國外品牌依賴。例如，薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵工藝過程部件——磁懸浮分子泵，長期被國外壟斷。面對“卡脖子”問題，公司積極響應(yīng)國家需求，承擔(dān)科技部《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專項中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目，多項關(guān)鍵技術(shù)，于2011年成功研制國內(nèi)臺磁懸浮分子泵，打破國外產(chǎn)品壟斷。
公司研制出新一代系列一體磁懸浮分子泵，以其優(yōu)越的性能，已廣泛應(yīng)用于工業(yè)過程、鍍膜等領(lǐng)域，為半導(dǎo)體零部件國產(chǎn)化注入新活力。未來，公司將繼續(xù)聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，全力突破“卡脖子”技術(shù)難題，推動半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化，為中國集成電路發(fā)展持續(xù)貢獻力量。
現(xiàn)今，越來越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十幾年來，渦輪分子泵在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動快,有機蒸汽污染少和極限真空高等特點.因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng),即使檢漏儀不用液氮冷阱,質(zhì)譜室也不致嚴(yán)重沾污,并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高,并且延長離子源的使用壽命.
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